基于过程免疫时间的半导体企业电压暂降经济损失预评估方法

来源：电工电能新技术杂志2018年第6期北京时间：

作者：张旭彬， 张逸， 张孔林， 李为明， 郭庆波， 李俭华

单位：1. 福州大学电气工程与自动化学院， 福建 福州 350108；
\r\n2. 国网福建检修公司， 福建 福州 350013；
\r\n3. 上海合凯电气科技有限公司， 安徽 合肥 231131

摘要：电压暂降已成为最严重的电能质量问题，给用户带来了极大的经济损失。国内外目前针对半导体企业电压暂降经济损失预评估的研究较少，为此本文提出一种基于过程免疫时间的实用评估方法。首先，以液晶屏面板为研究对象，应用故障树分析法对半导体复杂的生产过程进行分解以确定关键设备的逻辑连接关系；其次，结合实测的设备过程免疫时间和逻辑连接关系推算生产过程的综合过程免疫时间；再次，依据历史电压暂降监测数据和综合过程免疫时间预测生产过程中断次数；最后，结合生产过程中断次数和单次中断经济损失预估用户总经济损失值。实例分析结果验证了所提方法符合工程实际，具备可行性，对新投建的半导体生产线选择电压暂降治理方案、制定生产计划具有参考意义。

关键词：半导体, 电压暂降, 经济损失预评估, 过程免疫时间, 生产过程中断

基金资助：国家高技术研究发展计划（863计划）项目(2014AA051901)